在实际作业过程中，有许多物品是不能在高温条件下进行干燥处理的，为了产品质量，其干燥处理必须在低于100℃或在室温的条件下进行；而且真空条件下可使物体内部水分在无升温状态下蒸发，所以开始研制微波真空干燥设备。

    微波真空干燥机所采用的微波加热是一种辐射加热，是微波与物料直接发生作用，使其里外同时被加热，无须通过对流或传导来传递热量，所以加热速度快，干燥效率高，温度控制容易，使其成为制药工程、生物工程、化工工程、材料工程以及农副产品深加工的必备装置。

    常规的真空干燥设备都采用蒸汽进行加热，需要从里到外进行加热，加热速度慢，而且需要耗费大量的煤。而微波真空干燥机采用的是电磁波加热，无需传热媒介，直接加热到物体内部，升温速度快，工作效率有明显提高。

    由于微波加热是从内到外对物料进行同时加热，物料的内外温差很小，不会产生常规加热中出现的内外加热不一致的状况，从而产生膨化的效果，所以说微波真空干燥机利于粉碎，使干燥质量大大提高。

    由于微波功率可快速调整及无惯性的特点，使得微波真空干燥机更容易控制，便于连续生产及实现自动化；同时微波还具有消毒、杀菌的功效，使得经过干燥的产品安全卫生，保质期长。